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雙頻激光干涉儀ZLM700

產(chǎn)品功能     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。性能優(yōu)勢(shì)

l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測(cè)量直線度），則僅采購(gòu)所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購(gòu)；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購(gòu)功能對(duì)應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更。
l          采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測(cè)物體最大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。
l          無(wú)加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。
l          信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，請(qǐng)選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。
工作原理
專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：
一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)最大輸出功率：
1mW （激光等級(jí)2）
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：
1
線性測(cè)量距離：
40m，可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍：
20m行程
直線度測(cè)量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
最大速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
最大加速：
無(wú)限制
采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測(cè)量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測(cè)量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時(shí)
（20°±0.5°） 真空中時(shí)
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測(cè)量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時(shí)
（20°±0.5°） 真空中時(shí)
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測(cè)量精度：
±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測(cè)量精度：
±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測(cè)量精度：
±0.2%實(shí)測(cè)值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：
±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程
± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：
±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：
積分信號(hào) 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無(wú)冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無(wú)冷凝
 

應(yīng)用光路圖

以上為直線度測(cè)量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度

以上是平面度測(cè)量示意圖

以上是垂直度測(cè)量示意圖

 以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測(cè)量示意圖

以上是對(duì)角測(cè)量示意圖

 以上是俯仰角測(cè)量示意圖

以上是偏擺角測(cè)量示意圖

以上是滾動(dòng)角測(cè)量示意圖

以上是回轉(zhuǎn)臺(tái)定位精度測(cè)量示意圖

資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf激光干涉儀說明書（中文）.pdf

該公司產(chǎn)品分類： 變送器/信號(hào)轉(zhuǎn)換器 多通道溫度測(cè)量?jī)x 載波包絡(luò)相位檢測(cè)儀 色散測(cè)量?jī)x 激光對(duì)中儀 孔同軸度檢測(cè)儀 激光平面度檢測(cè)儀 激光幾何測(cè)量系統(tǒng) 激光平行度檢測(cè)儀 雙頻激光干涉儀 表面粗糙度輪廓儀

Fabry-Perot太赫茲Fabry-Perot掃描干涉儀

  高分辨測(cè)量可達(dá)至120MHz用戶可選的頻率范圍容易操作的軟件可按照客戶要求訂制 技術(shù)參數(shù):測(cè)量頻率范圍1）：10~100 cm-1（30GHz~3THz）光譜自由程：0.8~20 cm-1分辨率2）：4 x 10-3 cm-1金屬柵格間隔距離：0~12 mm（或根據(jù)客戶要求選擇）間隔距離精度：+ / - 5 um光束高度： 100 mm有效通光孔徑： 20 mm（或根據(jù)客戶要求選擇）尺寸： 160 （L） x 120 （W） x 130 （H） mm3重量：2.5 kg 1： 用戶選擇范圍：10~30cm-1 或者 30~100cm-1 

該公司產(chǎn)品分類： 其它光學(xué)測(cè)量?jī)x 其它粒度分析儀 其它 光鑷（光學(xué)鑷子） 溫濕度計(jì) 紫外、紫外分光光度計(jì)、紫外可見分光光度計(jì)、UV 光度儀、霧度儀、光澤度儀 紅外光譜(IR、傅立葉) 光學(xué)儀器組件 其它光譜儀 表面張力儀(界面張力儀) 蒸汽吸附儀/蒸氣吸附儀

111光纖干涉儀

 

【激光系列產(chǎn)品】
 
 固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計(jì) 激光護(hù)目鏡 激光波長(zhǎng)測(cè)量 激光光束分析儀 多通道激光功率計(jì) 大功率激光器 激光光束位置測(cè)量?jī)x 激光擴(kuò)束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測(cè)距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測(cè)量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計(jì)
 
【光譜測(cè)試儀器】
 
 紫外可見光譜儀 便攜式光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測(cè)量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測(cè)量?jī)x 燈具光譜測(cè)量?jī)x 透射譜吸光度光譜儀 絕對(duì)輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測(cè)量?jī)x 橢偏儀 太陽(yáng)能電池IPCE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池QE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測(cè)試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測(cè)量 信號(hào)發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀
 
【光學(xué)精密機(jī)械】
 
 干涉儀 光學(xué)平臺(tái) 光學(xué)鏡架 手動(dòng)平移臺(tái) 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)擺動(dòng)臺(tái) 手動(dòng)組合平臺(tái) 電動(dòng)平移臺(tái) 電動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái) 電動(dòng)擺動(dòng)平臺(tái) 電動(dòng)組合平臺(tái) 壓電陶瓷平臺(tái) 壓電陶瓷制動(dòng)器 高穩(wěn)定防震平臺(tái)
 
【光源】
 
 氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素?zé)艄庠?/span> 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽(yáng)模擬器 紫外固化機(jī) 寬帶超連續(xù)光源 顯微鏡光源
 
【光學(xué)影像】
 
 紫外CCD相機(jī) 近紅外CCD相機(jī) 制冷型CCD相機(jī) 高速相機(jī)   顯微鏡 CID相機(jī) 紅外相機(jī)/熱像儀
 
 
【光學(xué)元件】
 
 窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學(xué)基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長(zhǎng)板 擴(kuò)散板 起偏器 光學(xué)鏡頭 光纖產(chǎn)品 光柵尺 光柵
 
【光通信儀器】
 
 ASE光源 光纖放大器 光通信激光器 光功率計(jì) 可調(diào)諧激光光源 光纖測(cè)量系統(tǒng) 光衰減器 光纖熔接機(jī) 光通信探測(cè)器 光調(diào)制器 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發(fā)機(jī) 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
 
【生物分析儀器】
 

 動(dòng)物注射泵 樣品均質(zhì)器 粘合劑分配器 蠕動(dòng)泵

111斐索干涉儀

 

【激光系列產(chǎn)品】
 
 固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計(jì) 激光護(hù)目鏡 激光波長(zhǎng)測(cè)量 激光光束分析儀 多通道激光功率計(jì) 大功率激光器 激光光束位置測(cè)量?jī)x 激光擴(kuò)束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測(cè)距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測(cè)量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 視頻顯微鏡測(cè)量系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計(jì)
 
【光譜測(cè)試儀器】
 
 紫外可見光譜儀 便攜式光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測(cè)量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測(cè)量?jī)x 燈具光譜測(cè)量?jī)x 透射譜吸光度光譜儀 絕對(duì)輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測(cè)量?jī)x 橢偏儀 太陽(yáng)能電池IPCE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池QE測(cè)量系統(tǒng) 太陽(yáng)能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測(cè)試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測(cè)量 信號(hào)發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀
 
【光學(xué)精密機(jī)械】
 
 干涉儀 光學(xué)平臺(tái) 光學(xué)鏡架 手動(dòng)平移臺(tái) 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)擺動(dòng)臺(tái) 手動(dòng)組合平臺(tái) 電動(dòng)平移臺(tái) 電動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái) 電動(dòng)擺動(dòng)平臺(tái) 電動(dòng)組合平臺(tái) 壓電陶瓷平臺(tái) 壓電陶瓷制動(dòng)器 高穩(wěn)定防震平臺(tái)
 
【光源】
 
 氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素?zé)艄庠?/span> 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽(yáng)模擬器 紫外固化機(jī) 寬帶超連續(xù)光源 顯微鏡光源
 
【光學(xué)影像】
 
 紫外CCD相機(jī) 近紅外CCD相機(jī) 制冷型CCD相機(jī) 高速相機(jī)   顯微鏡 CID相機(jī) 紅外相機(jī)/熱像儀
 
【探測(cè)器】
 
 照度計(jì) 亮度計(jì) 輻射計(jì) 便攜式色差計(jì) 太陽(yáng)光功率計(jì) 快速反應(yīng)探測(cè)器 前置放大探測(cè)器 光纖耦合探測(cè)器 液氮制冷探測(cè)器 皮秒超快探測(cè)器 位敏探測(cè)器 四象限探測(cè)器 雙色探測(cè)器 紫外輻照計(jì) 硅光電探測(cè)器 近紅外探測(cè)器 中紅外探測(cè)器 雪崩二極管 光電倍增管
 
【光學(xué)元件】
 
 窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學(xué)基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長(zhǎng)板 擴(kuò)散板 起偏器 光學(xué)鏡頭 光纖產(chǎn)品 光柵尺 紅外鏡頭 光柵
 
【光通信儀器】
 
 ASE光源 光纖放大器 光發(fā)射機(jī) 光通信激光器 光功率計(jì) 可調(diào)諧激光光源 光纖測(cè)量系統(tǒng) 光衰減器 光纖熔接機(jī) 光通信探測(cè)器 光調(diào)制器 傳感器解調(diào)儀 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發(fā)機(jī) 激光發(fā)射機(jī) 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
 
【生物分析儀器】
 
 動(dòng)物注射泵 樣品均質(zhì)器 粘合劑分配器 蠕動(dòng)泵
該公司產(chǎn)品分類： 光學(xué)儀器

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